品牌：美國英特格（ENTEGRIS）
產品品類：Wafergard GTL In-line Gas Filters 在線氣體過濾器 / PTFE氣體過濾器
產品型號：WGFG01DSH
濾膜材質：高純聚四氟乙烯（PTFE）
外殼與支撐材質：高強度聚砜（Polysulfone）
連接端口規格：Rc1/4（PT1/4 內螺紋接口）
顆粒截留效率：對于直徑大于 0.0015 μm 的顆粒，截留效率達到 99.9999999%
推薦工作流速：最高可達 60 至 80 slpm（標準升/分鐘）
最大工作壓力：0.41 MPa @ 20°C
最大正向壓差：0.41 MPa @ 20°C
最大反向壓差：0.03 MPa @ 20°C
最高操作溫度：50°C
外形尺寸：筒體直徑約 25 mm，整體長度約 101 mm
重量信息：約 95 g（輕量化全密封緊湊型本體核心組件凈重）
美國英特格（ENTEGRIS）WGFG01DSH 是一款專為半導體制造制程、超凈微電子工藝、點用（POU）端氣體純化及精密工業氣體管路設計的高效率在線特種氣體過濾器。作為 Wafergard GTL 系列的核心代表型號，該產品在流道幾何結構設計、濾膜成型工藝以及高純材料的選擇上，都深度契合了現代先進晶圓制造對污染控制的嚴苛指標。其內部過濾核心采用英特格特有的高密度孔隙聚四氟乙烯（PTFE）精密濾膜，具備卓越的化學穩定性和極低的揮發釋出率。支撐骨架與外部包覆筒體則創新地采用了具有良好機械硬度和耐溫特性的聚砜（Polysulfone）材料。通過先進的熱熔焊接全密封工藝，將過濾元件與外殼渾然一體地結合在一起，從物理結構上免除了由于使用傳統密封圈或粘接劑而可能帶來的氣體二次化學污染隱患，在保障氣流超高潔凈度的同時，賦予了整個過濾組件優異的耐壓與抗疲勞特性。
從極其廣泛的行業應用表現與核心技術性能來看，WGFG01DSH 在線氣體過濾器常年活躍在晶圓運輸承載系統（Wafer Transport Systems）、低吸氣量保護裝置、潔凈干燥空氣（CDA）終端配給、高純氮氣吹掃線、精細實驗室氣體分配盤以及各種點用端（Point-of-Use）惰性氣體保護回路中。在高度自動化的半導體前道或后道工藝流水線上，微小的微粒污染都可能直接導致整批晶圓的良率報廢。該型號憑借其內部高度均質的微孔網狀濾膜，針對工藝氣流中直徑小至 0.0015 微米（1.5 納米）的懸浮超細顆粒物，依然能夠提供高達九個九（>99.9999999%）的絕對截留效率。即使在氣流速度處于 80 slpm 的設計高流速峰值下運行時，過濾器內部獨特的空氣動力學流道也能夠把氣體經過時的初始壓降克制在極低水平，從而完美避免了由于管路局部阻力驟增而引起的上游氣體回傳或流量供給不穩，為精密制造設備提供了穩定、純凈、連續的高質量工藝氣體屏障。
在實際的工業管路系統集成與設備物料維護配套中，WGFG01DSH 采用的是工業標準的 Rc1/4 內螺紋（PT1/4）連接方式，能夠極其緊湊且氣密地融入到現有的氣體控制面板或分支管線中。如果工藝現場對管道的螺紋接口形式有不同的標準限制，用戶通?？梢詫颂鎿Q選擇采用 1/4 英寸 NPT 內螺紋接口的姊妹型號 WGFG01DSO，兩者在過濾性能上保持高度一致。針對半導體廠區中不同氣路的腐蝕性、壓力以及溫度環境的變化，英特格（ENTEGRIS）旗下開發了覆蓋全制程的氣體凈化與過濾矩陣。例如，在面對諸如氯化氫、氨氣或強活性反應氣體等特殊工藝氣體（Specialty Gases）的高壓高溫輸送環境時，工程師通常會傾向于升級采用全不銹鋼外殼或全鎳濾芯的 Wafergard II 系列表面貼裝式過濾器。而 WGFG01DSH 則憑借其在惰性氣體與干燥空氣過濾中表現出的極高性價比、輕量化緊湊型結構以及免維護的全周期運行優勢，成為了眾多半導體廠配氣管路、自動化MRO耗材更換和高端機臺配套時的首選硬件方案。
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