品牌：RORZE（羅茲）
型號(hào)：RC234
品類：半導(dǎo)體機(jī)器人控制器（驅(qū)動(dòng)器）
適用軸數(shù)：多軸高精密伺服控制
工作電源：200 - 240 V AC，50/60 Hz
通訊接口：RS232C / RS485 / 以太網(wǎng)總線（視具體板卡配置）
控制對象：晶圓傳輸機(jī)器人（真空/大氣環(huán)境執(zhí)行機(jī)構(gòu)）
內(nèi)置軌跡算法：高階S曲線平滑真空插補(bǔ)算法
電氣防護(hù)：具備過流、過壓、過熱及編碼器斷線全面電氣保護(hù)
示教模式：支持手持終端示教或?qū)Ｓ密浖h(yuǎn)程配置
運(yùn)行環(huán)境：符合半導(dǎo)體潔凈室Class 1標(biāo)準(zhǔn)（視搭配的機(jī)械手而定）
冷卻方式：風(fēng)扇冷卻或自然散熱
動(dòng)作控制精度：達(dá)到微米級(jí)脈沖解析定位
外殼材質(zhì)：陽極氧化鋁防靜電外殼
單體凈重量：約 3.80 kg
整體包裝運(yùn)輸重：約 4.65 kg
RORZE 機(jī)器人控制器是專為半導(dǎo)體前道晶圓精密制造、平板顯示面板（FPD）片級(jí)搬運(yùn)以及各類真空/大氣環(huán)境機(jī)械手設(shè)計(jì)的高端多軸運(yùn)動(dòng)控制與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)一體化組件。在半導(dǎo)體晶圓潔凈廠房中，晶圓傳輸機(jī)器人（EFEM或真空集群系統(tǒng)核心搬運(yùn)件）的平穩(wěn)性、高速響應(yīng)和重復(fù)定位精度直接決定了整道工序的成品率。該設(shè)備內(nèi)部集成了先進(jìn)的高速數(shù)字信號(hào)處理器（DSP）和高效率大功率全橋驅(qū)動(dòng)模塊，能夠精確管理多軸電機(jī)的速度、扭矩和空間位移軌跡，為半導(dǎo)體清洗、刻蝕、薄膜沉積以及精密包裝等自動(dòng)化加工現(xiàn)場提供穩(wěn)定且持久的控壓支持與平穩(wěn)、低振動(dòng)的動(dòng)力輸出。
在系統(tǒng)架構(gòu)與性能方面，該設(shè)備展現(xiàn)出了極其深厚的技術(shù)積淀和優(yōu)異的行業(yè)適配性。控制器內(nèi)部植入了品牌自主研發(fā)的高階軌跡平滑算法，可以根據(jù)機(jī)械手當(dāng)前的負(fù)載慣量、真空腔體間狹窄的通道幾何特征，實(shí)時(shí)生成優(yōu)化的加減速S曲線，確保晶圓在高速平移及旋轉(zhuǎn)時(shí)表面不發(fā)生滑動(dòng)，且在停止瞬間實(shí)現(xiàn)零微震動(dòng)作。設(shè)備外殼采用特殊的陽極氧化鋁防靜電材質(zhì)，不僅擁有出色的電磁兼容（EMC）防干擾性能，更能有效抑制由于機(jī)殼摩擦產(chǎn)生的微小微粒生成，契合百級(jí)及更高級(jí)別半導(dǎo)體車間的潔凈生產(chǎn)環(huán)境。多通道的高速數(shù)字I/O接口與主控總線無縫對接，使晶圓片位置感應(yīng)、傳感器狀態(tài)反鎖、真空氣閥吸附控制以及系統(tǒng)聯(lián)鎖信號(hào)能以微秒級(jí)的速率傳遞至上層分布式控制系統(tǒng)（DCS）或主PLC，杜絕了由于控制延遲導(dǎo)致的工件損毀事故。
本控制器在參數(shù)上具備優(yōu)良的現(xiàn)場適應(yīng)能力，其電源輸入模塊針對全球晶圓廠主流的工業(yè)三相/單相交流電網(wǎng)進(jìn)行了深度優(yōu)化，具備出色的抗電網(wǎng)波動(dòng)與瞬時(shí)跌落能力。整機(jī)集成了完善的固態(tài)電氣保護(hù)機(jī)制，當(dāng)現(xiàn)場發(fā)生機(jī)械卡澀、電機(jī)過載、編碼器斷線或瞬間過電壓時(shí)，內(nèi)部邏輯能在幾毫秒內(nèi)緊急切斷主驅(qū)動(dòng)輸出并向主控計(jì)算機(jī)發(fā)出精確的故障編碼，極大提升了半導(dǎo)體生產(chǎn)線全天候不間斷運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。在日常維護(hù)與系統(tǒng)升級(jí)時(shí)，其模塊化的接線端子與標(biāo)準(zhǔn)化的通信架構(gòu)，使得技術(shù)人員的現(xiàn)場調(diào)試與配型更換工作變得非常高效，極大地降低了工廠的綜合維護(hù)頻率與設(shè)備停機(jī)成本。
為了在同類熱工現(xiàn)場中實(shí)現(xiàn)多段火控制或旁路小火點(diǎn)火，推薦搭配同品牌的配套產(chǎn)品。例如，可以在晶圓傳輸單元中配合選購經(jīng)典的 RR701 或 RR800 系列雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，構(gòu)成“高精度智能控制 + 剛性傳動(dòng)執(zhí)行”的黃金拍檔。在更為嚴(yán)苛的真空高潔凈環(huán)境里，推薦選用不銹鋼材質(zhì)或帶有防輻射涂層、耐高溫封裝的升級(jí)版型號(hào)，或搭配同品牌的 RC200 系列多軸直角坐標(biāo)機(jī)械手，確保真空腔體內(nèi)部的氣密性與純凈度。針對需要更大驅(qū)動(dòng)電流、不同軸數(shù)控制規(guī)格的場合，該品牌還提供 Size 2 或 Size 3 的寬泛規(guī)格配置選擇，能極大地豐富工業(yè)現(xiàn)場的設(shè)計(jì)方案。
RC201
RC201A
RC202
RC204
RC205
RC208
RC208A
RC208C
RC211
RC212
RC214
RC215
RC218
RC221
RC222
RC224
RC225
RC228
RC231
RC232
RC235
RC238
RC241
RC242
RC244
RC245
RC248
RC251
RC252
RC254
RC255
RC258
RC301
RC302
RC304
RC308
RC312
RC316
RC401
RC402
RC404
RC408
RC412
RC416
RC501
RC502
RC504
RC508
RC512
RC516
RC601
RC602
RC604
RC608
RC612
RC616
RD101
RD102
RD104
RD111
RD112
RD114
RD121
RD122
RD124
RD201
RD202
RD204
RD211
RD212
RD214
RD221
RD222
RD224
RD301
RD302
RD304
RD401
RD402
RD404
RR701
RR701L
RR701S
RR702
RR703
RR711
RR712
RR713
RR801
RR802
RR803
RR811
RR812
RR813
RR501
RR502
RR503
RR601
RR602
RR603
RM101
RM102
RM201
RM202
RM301
RM302
RS101
RS102
RS201
RS202
RE101
RE102
RE201
RE202
RG101
RG102
RG201
RG202
RV101
RV102
RV201
RV202
RF101
RF102
RF201
RF202
RT101
RT102
RT201
RT202
RL101
RL102
RL201
RL202
RH101
RH102
RH201
RH202
RX101
RX102
RX201
RX202
RZ101
RZ102
RZ201
RZ202
RP101
RP102
RP201
RP202
RC101
RC102
RC104
RC108
RC112
RC116
RD501
RD502
RD504
RD601
RD602
RD604