品牌：美國英特格（Entegris）
產品型號：WG3D25SR2
所屬系列：Chambergard? Fast Vent / BGN 系列
產品類型：快速排氣氣體擴散器 / 氣體過濾器（Gas Diffusers）
過濾介質：獲得專利的超凈燒結鎳膜（Sintered Nickel Technology）
外殼材質：316L 不銹鋼（316L Stainless Steel）
顆粒去除效率：可高效攔截大于 0.0015 μm（1.5納米）的微小顆粒
法蘭規格：ISO NW-25 隔板安裝（Bulkhead mounting）
法蘭卡箍兼容性：完全兼容標準 ISO 隔板法蘭卡箍（Bulkhead clamps）
工藝接頭：1/4" VCR? 兼容外螺紋金屬墊片密封接頭（Male gasket seal fitting）
法蘭外徑尺寸：35.9 mm（1.41"）
隔板安裝孔徑：29.8 mm（1.17"）
密封面厚度：1.9 mm（0.07"）
最大工作壓力（含O型圈）：0.7 MPa（100 psi / 7 bar）
最大測試壓力（含O型圈）：0.8 MPa（115 psi / 8 bar）
最高工作溫度（帶O型圈）：100°C（212°F）
最高工作溫度（不帶O型圈）：400°C（752°F）
額定操作壽命：可承受至少 100,000 次壓力循環
制造環境級別：10級/100級超凈室（Cleanroom）制造、測試與無菌包裝
標準物理重量：約 0.28 kg（0.62 lbs）
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美國Entegris WG3D25SR2是一款專為半導體、平板顯示器（FPD）以及高端數據存儲設備制造制程設計的Chambergard?系列超高純快速排氣氣體擴散器。在高度復雜的集成電路晶圓片加工流程中，各種真空反應腔體（如負載鎖定室 Load Lock、冷卻室 Cooling Chamber、傳輸室 Transfer Chamber 和各類氣相沉積工藝腔體 Process Chamber）需要頻繁地在真空狀態與常壓大氣環境之間進行切換。WG3D25SR2的核心職能便是在腔體充氣破真空（Vent）階段，對注入的高純惰性氣體進行物理擴散與極微顆粒過濾，從而在保護高價值晶圓免受氣流紊亂和微塵污染的同時，大幅縮減設備的排氣等待時間。
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從材料學與核心結構來看，該產品集成了英特格引以為傲且獲得國際專利的燒結鎳（Sintered Nickel）技術。與傳統的金屬網格或聚合物薄膜相比，燒結鎳過濾介質在提供超高通量和低壓力降的同時，具有無與倫比的孔隙均勻度以及極強的機械剛性。這種獨特的網狀海綿結構能夠瞬間將高壓注入的集中氣流轉化為輕柔、均勻、呈輻射狀發散的弱流，避免了由于氣流速度過快而在反應腔內部激起既有的殘留微粒（即紊流揚塵現象）。該擴散器對直徑大于0.0015微米（1.5納米）的任何微小雜質顆粒均具備近乎完美的攔截清除能力，從源頭上斬斷了氣體輸送管路中潛在的二次污染風險，最大程度地遏制了晶圓表面的物理缺陷率。
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在行業應用與工藝優化方面，Entegris WG3D25SR2展現出了極高的綜合設備效率（OEE）改善能力。其物理結構的一端配備了標準的ISO NW-25隔板法蘭接口，能夠利用標準的真空卡箍極為嚴密、便捷地錨定在設備的腔體壁板上；另一端則采用業界通用的1/4英寸VCR金屬面密封外螺紋接頭，確保了與廠務特氣系統（GDS）或機臺內部氣路面板的零泄漏無縫駁接。該型號在不安裝密封圈的純金屬硬密封工況下，最高可耐受達400攝氏度的極端高溫，這使得其在需要高熱烘烤脫氣的沉積類工藝中表現極佳。同時，高達十萬次的超長設計循環壽命，極大地拉長了機臺的日常維護周期。
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在晶圓廠和高端工藝線進行設備原廠升級（Retrofit）或產能擴建時，WG3D25SR2往往是工藝工程師的首選替代和標準化配置。由于其完全在先進制程級超凈室中組裝并經過嚴格的真空除氣與完整性測試，用戶在現場拆封安裝后無需經歷冗長的管路吹掃與干燥時間（Drydown Time），即可快速讓設備投產。針對不同晶圓尺寸下的腔體容積差異，工程師通常會將本款NW-25法蘭擴散器與更大規格的NW-40或NW-100（如WG3D401R2）進行匹配調整，以求在氣流擴散速度與防粒子擾動之間達到最佳平衡點。通過這種科學的微污染控制手段，不僅能夠顯著提高單臺機臺的時產率（Throughput），更為納米級先進晶圓代工線的良率穩步提升構筑了堅實的流體防護屏障。
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WG3D16TR2 WG3D228R2 WG3D25LR2 WG3D350R2 WG3D35BW2 WG3D3LBW2 WG3D401R2 WG3D40DR2 WG3D50BW2 WG3D50LR2 WG3D75BW2 WG3D75LR2 WG3D100BR2 WG3D100LR2 WG3D150BR2 WG3D150LR2 WG2SS3RR2 WG2SS4RR2 WG2SS8RR2 WG2SS2RR2 WG2NI3RR2 WG2NI4RR2 WG2NI8RR2 WG2NI2RR2 WG3NS3RF2 WG3NS4RF2 WG3NS8RF2 WG3NS2RF2 WG3NN3RF2 WG3NN4RF2 WG3NN8RF2 WG3NN2RF2 WGPM0GGG2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 WGPM0GGT8 WGPM0GGV2 WGPM0GGV4 WGFG01K01 WGFG01KL0 WGFG01KL5 WGFG02PR1 WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 WGMXMBRR4 WGFG01K11 WGFG01K21 WGFG02PR2 WGFGT1PR2 WGFGMBRR2 WGMXMBRR2 PN2H010E1 PN2H020E1 PN2H030E1 PN2H050E1 PN2H100E1 YY260103P YY260104P YY260105P YY561120F CTFG01TPE PFFZ15P8P WTFF01K01 WTFF01KL0 WTFF01KL5 WTFF02PR1 WTFFT1PR1 WTFFMBRR4 WMFG01K01 WMFG01KL0 WMFG01KL5 WMFG02PR1 WMFGT1PR1 WMFGMBRR4 XLFF01K01 XLFF01KL0 XLFF01KL5 XLFF02PR1 XLFFT1PR1 XLFFMBRR4 LGFP01K01 LGFP01KL0 LGFP01KL5 LGFP02PR1 LGFPT1PR1 LGFPMBRR4 SMFG01K01 SMFG01KL0 SMFG01KL5 SMFG02PR1 SMFGT1PR1 SMFGMBRR4 CEFG01K01 CEFG01KL0 CEFG01KL5 CEFG02PR1 CEFGT1PR1 CEFGMBRR4 CHFG01K01 CHFG01KL0 CHFG01KL5 CHFG02PR1 CHFGT1PR1 CHFGMBRR4 VFFG01K01 VFFG01KL0 VFFG01KL5 VFFG02PR1 VFFGT1PR1 VFFGMBRR4 MCFF01K01 MCFF01KL0 MCFF01KL5 MCFF02PR1 MCFFT1PR1 MCFFMBRR4 NCFF01K01 NCFF01KL0 NCFF01KL5 NCFF02PR1 NCFFT1PR1 NCFFMBRR4 PCFF01K01 PCFF01KL0 PCFF01KL5 PCFF02PR1 PCFFT1PR1 PCFFMBRR4 BCFF01K01 BCFF01KL0 BCFF01KL5 BCFF02PR1 BCFFT1PR1 BCFFMBRR4 TCFF01K01 TCFF01KL0 TCFF01KL5 TCFF02PR1 TCFFT1PR1 TCFFMBRR4 KCFF01K01 KCFF01KL0 KCFF01KL5 KCFF02PR1 KCFFT1PR1 KCFFMBRR4 HCFF01K01 HCFF01KL0 HCFF01KL5 HCFF02PR1 HCFFT1PR1 HCFFMBRR4 JCFF01K01 JCFF01KL0 JCFF01KL5 JCFF02PR1 JCFFT1PR1 JCFFMBRR4 UCFF01K01 UCFF01KL0 UCFF01KL5 UCFF02PR1 UCFFT1PR1 UCFFMBRR4 CCFF01K01 CCFF01KL0 CCFF01KL5 CCFF02PR1 CCFFT1PR1 CCFFMBRR4 SCFF01K01 SCFF01KL0 SCFF01KL5 SCFF02PR1 SCFFT1PR1 SCFFMBRR4 RCFF01K01 RCFF01KL0 RCFF01KL5 RCFF02PR1 RCFFT1PR1 RCFFMBRR4
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