• 品牌：英特格 (Entegris / 前身包含 Mykrolis)
• 系列：Wafergard? MAX In-line Gas Filters 系列
• 完整型號(hào)：WGMXMBRR2
• 性能級(jí)別：Bronze 青銅級(jí)高流量設(shè)計(jì)
• 設(shè)備品類(lèi)：超高純?cè)诰€(xiàn)式（In-line）特種氣體膜過(guò)濾器
• 濾芯材質(zhì)：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 過(guò)濾膜介質(zhì)
• 支撐結(jié)構(gòu)材質(zhì)：全氟烷氧基烷烴 (PFA) 支撐骨架
• 外殼材質(zhì)：高品位 316L 不銹鋼 (內(nèi)表面經(jīng)過(guò)高潔凈精密電磁拋光處理)
• 接口規(guī)格：1/4 英寸墊片密封接口（完全兼容標(biāo)準(zhǔn) VCR 密封接頭形式）
• 接口形式：公頭輸入 / 公頭輸出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
• 顆粒濾除能力：在氣體流量中可有效攔截并去除直徑大于或等于 0.0015 微米 (1.5 納米 / μm) 的超細(xì)微懸浮顆粒物，攔截率達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平
• 最大工作壓力：依據(jù)超高純氣路設(shè)計(jì)規(guī)范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar / 3000 psi) 連續(xù)管路系統(tǒng)壓力
• 工作溫度范圍：連續(xù)運(yùn)行工況下最高支持 120°C (248°F) 的系統(tǒng)環(huán)境溫度
• 氦氣檢漏率：整體漏率小于 1 x 10^-10 Pa·m3/sec，具有極佳的密封氣密性
• 產(chǎn)品重量信息：約 0.35 kg (不含保護(hù)端蓋及外層真空包裝)

英特格（Entegris）推出的 Wafergard? MAX 系列在線(xiàn)式超高純氣體過(guò)濾器（官方專(zhuān)屬定制型號(hào)：WGMXMBRR2）是一款面向半導(dǎo)體前道晶圓加工、先進(jìn)集成電路制造、光伏太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)以及各類(lèi)精密電子化學(xué)品氣路系統(tǒng)研發(fā)的尖端級(jí)管路過(guò)濾攔截組件。在現(xiàn)代精密微電子工藝中，由于芯片線(xiàn)寬的不斷縮小，氣路輸送管道內(nèi)部所附著的極其微小的金屬粉塵、機(jī)械閥門(mén)磨損碎屑以及由于冷熱變動(dòng)產(chǎn)生的管壁脫落顆粒，都極易成為破壞晶圓表面電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的致命元兇。為了給光刻、刻蝕、化學(xué)氣相沉積（CVD）及原子層沉積（ALD）等高價(jià)值核心工藝艙體提供長(zhǎng)久、穩(wěn)定的純凈氣體環(huán)境，該設(shè)備在繼承了英特格半導(dǎo)體純化技術(shù)平臺(tái)的基礎(chǔ)之上，通過(guò)一體化全焊接工藝以及緊湊的直通（In-line）物理結(jié)構(gòu)，完美解決了氣體控制面板（Gas Box）、閥門(mén)分配箱（VMB）以及高純氣柜（Gas Cabinet）等設(shè)備內(nèi)部極其嚴(yán)苛的空間布局限制。

在核心性能和材質(zhì)表現(xiàn)上，WGMXMBRR2 展現(xiàn)出了材料化學(xué)惰性與極強(qiáng)物理過(guò)濾能力的緊密結(jié)合。其內(nèi)部過(guò)濾核心采用耐腐蝕性及熱穩(wěn)定性均表現(xiàn)突出的聚四氟乙烯（PTFE）高密度微孔膜介質(zhì)，并輔以全氟烷氧基烷烴（PFA）提供堅(jiān)固的內(nèi)部網(wǎng)目支撐。過(guò)濾器外部殼體則選用內(nèi)部經(jīng)過(guò)嚴(yán)格電解拋光工藝的高品味 316L 不銹鋼。這種配置使得該過(guò)濾器在面對(duì)各種高活性、強(qiáng)腐蝕性的工藝反應(yīng)氣體（如鹵族氣體、酸性氣體等）、高純不活性氣體、甚至強(qiáng)氧化性的臭氧（O3）時(shí)，均能維持出色的抗腐蝕表現(xiàn)。與此同時(shí)，其在長(zhǎng)期大流量氣流的沖刷下，依然擁有極低的微量金屬離子釋出和極低的氣體析出特性。根據(jù)權(quán)威半導(dǎo)體制程測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，WGMXMBRR2 能夠高效消除流動(dòng)氣源中直徑低至 0.0015 微米（即 1.5 納米）以上的微細(xì)顆粒物，為精密氣路提供穩(wěn)固的防護(hù)。為了確保產(chǎn)品處于隨時(shí)可用的開(kāi)機(jī)狀態(tài)，每一只設(shè)備在出廠(chǎng)前都經(jīng)歷過(guò)深度的原廠(chǎng)潔凈烘烤與充氮無(wú)塵包裝，使得用戶(hù)在完成管路接駁后能夠迅速讓氣路達(dá)到工藝平衡，縮短了晶圓廠(chǎng)精密機(jī)臺(tái)的調(diào)試周期。

在行業(yè)適用性與系統(tǒng)集成層面上，該過(guò)濾器屬于 Bronze（青銅級(jí)）性能定位，專(zhuān)為高流量與超低壓差應(yīng)用而開(kāi)發(fā)。它配備了標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體氣路所通用的 1/4 英寸 VCR 金屬墊片密封公頭接口（Male to Male 接頭），整體外形長(zhǎng)度設(shè)計(jì)與早期英特格常規(guī)過(guò)濾器保持一致。這意味著設(shè)備工程師在對(duì)現(xiàn)有閥門(mén)面板進(jìn)行技術(shù)升級(jí)或?yàn)V芯更換時(shí)，可以直接進(jìn)行同尺寸原位替代，無(wú)需改動(dòng)任何管線(xiàn)和硬件底座。由于其出色的內(nèi)部流道優(yōu)化設(shè)計(jì)，當(dāng)特殊氣體以大吞吐量經(jīng)過(guò)濾膜時(shí)，過(guò)濾器能夠?qū)?nèi)部壓降控制在合理范圍內(nèi)，避免了產(chǎn)生明顯的節(jié)流效應(yīng)對(duì)下游 MFC（質(zhì)量流量控制器）的控制精度造成干擾。在實(shí)際的工業(yè)分布式超高純氣體輸送網(wǎng)絡(luò)中，由于不同制程段和工藝節(jié)點(diǎn)的管徑、流速、壓力存在差異，該型號(hào)除了單獨(dú)應(yīng)用外，也常常與同系列 1/2 英寸規(guī)格的 WGMXMBRR4 過(guò)濾器，或者主干道大流量用的 Wafergard SG MAX 系列、全金屬燒結(jié)介質(zhì)的 WG2F02RR2 等相關(guān)型號(hào)構(gòu)成多級(jí)互補(bǔ)的氣體過(guò)濾與純化方案。這種協(xié)同工作方式從主供氣源頭到最終的機(jī)臺(tái)點(diǎn)（Point-of-Use）構(gòu)筑起了嚴(yán)密的數(shù)據(jù)安全和良率保護(hù)傘，是各大半導(dǎo)體 OEM 制造大廠(chǎng)、特種氣體集成商用以防止晶圓次品和提升產(chǎn)品良率的重要基礎(chǔ)性保障。

WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGMXMBRR4
WGMXMBSS2
WGMXMBSS3
WGMXMBSS4
WGMXMPRR2
WGMXMPRR4
WGMXMPSS2
WGMXMPSS3
WGMXMPSS4
WGMXMPSV2
WGMXMPSV3
WGMXMPSV4
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F32PS1
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WG2FT1RR2
WG2F15HJJ6
WGLMMPRR4
WGLMMPSS4
LGMXFPRR4
SI2N0025R
WGPF01RR1
WGNF01RR1
WGBF01RR1
CE2004VCR4
CE3004VCR4
CE4004VCR4
CE5004VCR4
WGLMMPRR2
WGLMMPSS2
WGLMMPSV2
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WGLF02SS1
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WGMF01RR1
WGMF01SS1
WGMF02RR1
WGMF02SS1
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WGWF01SS1
WGWF02RR1
WGWF02SS1
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WGWF32SS1
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WGWF52SS1
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WGSTMPSS4
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WGPF02SS1
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WGPF32SS1
WGPF52RR1
WGPF52SS1
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WGUPF1SS1
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WGUPF2SS1
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WGUPF3SS1
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WGNF02SS1
WGNF32RR1
WGNF32SS1
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WGNF52SS1
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WGBF02SS1
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WGCF01SS1
WGCF02RR1
WGCF02SS1
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WGDF01RR1
WGDF01SS1
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WGDF02SS1
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WGDF52SS1
WGEF01RR1
WGEF01SS1
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WGEF52SS1
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WGFF01SS1
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WGRF01SS1
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WGVF01SS1
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WGYF01SS1
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WGZF01SS1
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WGZF02SS1
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WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGMBSS2
WGFGMBSS4
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WGFGMPRR4
WGFGMPSS2
WGFGMPSS4
WGFGMPSV2
WGFGMPSV4