- 品牌：英特格 (Entegris / 曾用名 Mykrolis)
- 系列：Wafergard? MAX In-line Gas Filters 系列
- 完整型號(hào)：WGMXMSRR2
- 設(shè)備品類：超高純?cè)诰€式（In-line）特種氣體過(guò)濾器
- 濾芯材質(zhì)：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 膜介質(zhì)
- 外殼材質(zhì)：高品位 316L 不銹鋼 (內(nèi)表面經(jīng)過(guò)精密電磁拋光處理)
- 接口規(guī)格：1/4 英寸墊片密封接口（完全兼容標(biāo)準(zhǔn) VCR 密封接頭）
- 接口形式：公頭輸入 / 公頭輸出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
- 顆粒濾除能力：可高效濾除直徑大于或等于 0.0015 微米 (μm) 的超微細(xì)顆粒物
- 最大工作壓力：依據(jù)半導(dǎo)體工藝規(guī)范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar) 氣路系統(tǒng)壓力
- 工作溫度范圍：最高可穩(wěn)定運(yùn)行于 120°C (248°F) 工況環(huán)境
- 產(chǎn)品重量信息：約 0.32 kg
英特格（Entegris）推出的 Wafergard? MAX 系列在線式高純氣體過(guò)濾器（具體型號(hào)：WGMXMSRR2）是一款面向半導(dǎo)體、微電子、光伏太陽(yáng)能以及精密高純材料加工行業(yè)打造的高性能氣路攔截組件。在如今線寬不斷縮小的先進(jìn)制程中，任何氣路管線內(nèi)部附著的微塵、管壁磨損顆粒或二次污染，都會(huì)嚴(yán)重影響晶圓表面的物理與電學(xué)結(jié)構(gòu)。為了給關(guān)鍵核心工藝艙體提供清潔的氣體輸入環(huán)境，該設(shè)備在延續(xù)了該系列產(chǎn)品家族一貫的高潔凈結(jié)構(gòu)技術(shù)平臺(tái)基礎(chǔ)上，采用了緊湊的一體化全焊接封裝形式，不僅滿足了緊湊型氣體控制面板（Gas Box）以及閥門分配箱（VMB）等極其苛刻的物理安裝空間限制，同時(shí)還將氣體流動(dòng)中的微量污染物攔截率提升到了極佳的水平。
在核心性能表現(xiàn)上，該產(chǎn)品完美融合了極佳的材質(zhì)化學(xué)惰性與超強(qiáng)的精細(xì)過(guò)濾網(wǎng)目。其內(nèi)部核心濾芯采用高純度 PTFE（聚四氟乙烯）膜介質(zhì)，外殼則精選經(jīng)過(guò)特種電解拋光工藝處理的高品位 316L 不銹鋼。這種設(shè)計(jì)不僅賦予了過(guò)濾器面對(duì)各類特殊材料氣體（諸如各類強(qiáng)腐蝕性反應(yīng)氣體、惰性氣體、甚至是高活性臭氧等）時(shí)卓越的抗腐蝕能力，還能在極大的氣流沖擊下始終維持超低的金屬離子和有害氣體的析出率。根據(jù)測(cè)試認(rèn)證，其能夠以極高的過(guò)濾效率徹底消除氣體中直徑低至 0.0015 微米（即 1.5 納米）的超細(xì)微顆粒物。并且，通過(guò)出廠前的特殊深度烘烤與真空充氮包裝處理，產(chǎn)品具備即插即用、迅速達(dá)到工藝平衡的特性，極大地縮短了晶圓廠設(shè)備初次開機(jī)調(diào)試的等待時(shí)間。
在行業(yè)適用性與系統(tǒng)集成層面上，WGMXMSRR2 配備了 1/4 英寸的標(biāo)準(zhǔn) VCR 金屬墊片密封公頭接口（Male Inlet/Outlet），可以非常簡(jiǎn)便地串聯(lián)應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）或原子層沉積（ALD）等前道制程設(shè)備中。其卓越的大流量低壓差設(shè)計(jì)，讓氣體在大吞吐量經(jīng)過(guò)時(shí)依然能保持平穩(wěn)的壓力輸出，避免產(chǎn)生明顯的節(jié)流效應(yīng)導(dǎo)致氣流不穩(wěn)。此外，在實(shí)際的工業(yè)多級(jí)氣體純化拓?fù)渚W(wǎng)絡(luò)中，該型號(hào)常與 1/2 英寸規(guī)格的 WGMXMSRR4 或全金屬材質(zhì)的 WG2F02RR2 等互補(bǔ)型號(hào)配合，搭建在廠區(qū)氣體分配總管與機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)（Point-of-Use）之間。它憑借在各種極限化學(xué)和熱穩(wěn)定條件下的穩(wěn)定輸出，成為了各大半導(dǎo)體 OEM 制造廠、氣體輸送控制系統(tǒng)集成商用來(lái)防止晶圓次品率、提升成品良率的可信賴之選。
以下為英特格（Entegris）Wafergard? MAX 系列及其他相關(guān)的高純氣體過(guò)濾器產(chǎn)品型號(hào)列表，包含多種接口規(guī)格和過(guò)濾材質(zhì)的組合，適用于不同的半導(dǎo)體制造和特種氣體控制場(chǎng)景：
Wafergard? MAX系列常用型號(hào)：
WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
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WG2F02RR2, WG2F02RR4, WGFGT1PR1, WG2FT1RR2, WG2F15HJJ6, WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, LGMXFPRR4, SI2N0025R, WGPF01RR1, WGNF01RR1, WGBF01RR1, CE2004VCR4 等
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- Wafergard? MAX 系列：WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
- WGLM 系列：WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, WGLMMPSV4, WGLMMPRR2, WGLMMPSS2, WGLMMPSV2
- WG2F/WGMF/WGPF等系列及CE系列：包含WG2F02RR2, WG2F02RR4, WG2F32PS1, WGFGT1PR1, WGPF01RR1, CE2004VCR4等多種規(guī)格。