• 品牌：英特格 (Entegris / 前身包含 Millipore)
• 系列：Wafergard? II F Mini XL 系列
• 完整型號：WG2F02RR4
• 設(shè)備品類：全金屬在線式高純氣體過濾器
• 接頭規(guī)格：1/2 英寸墊片密封接口（完全兼容 VCR 密封接頭規(guī)格）
• 接口形式：公頭輸入 / 公頭輸出 (Male Inlet / Outlet)
• 總長度：133.4 mm (5.25 英寸)
• 濾芯材質(zhì)：燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì)（全金屬架構(gòu)）
• 外殼及保持器材質(zhì)：316 不銹鋼
• 顆粒濾除效率：可有效去除所有直徑大于 0.3 微米（μm）的顆粒物，濾除率超過 95%
• 最大壓差限制：對于 1/2" 規(guī)格，P1 端為 1.7 MPa (17 bar)，P2 端為 2.9 MPa (29 bar)
• 最高工作溫度：可支持高達(dá) 400°C (750°F) 環(huán)境（惰性氣體工況下）
• 產(chǎn)品重量信息：約 0.28 kg

英特格（Entegris）推出的 Wafergard? II F Mini XL 系列高純氣體過濾器（具體型號：WG2F02RR4）是一款專為半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、光伏太陽能、晶圓加工以及高尖端實(shí)驗(yàn)室氣體管路量身定制的金屬全焊接管路在線式氣體凈化組件。作為在半導(dǎo)體超高純（UHP）氣體過濾領(lǐng)域深耕多年的成熟技術(shù)結(jié)晶，該過濾器旨在為現(xiàn)代集成電路制造中錯(cuò)綜復(fù)雜的特殊氣體輸送系統(tǒng)提供穩(wěn)固的顆粒物屏障。其采用一體化緊湊型全金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠無縫替代并嵌入標(biāo)準(zhǔn)的氣路管線中，在防止微量粉塵、機(jī)械磨損碎屑以及管道污染顆粒進(jìn)入敏感且高價(jià)值的晶圓反應(yīng)腔體方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。?

?

在核心性能表現(xiàn)上，該產(chǎn)品展現(xiàn)出了極佳的材料純凈度與嚴(yán)苛環(huán)境耐受力。其內(nèi)部核心過濾介質(zhì)由燒結(jié) 316L 不銹鋼構(gòu)成，外殼及保持器同樣選用高規(guī)格的 316 不銹鋼材質(zhì)，這使得整機(jī)具有極低的金屬離子釋出率與優(yōu)異的抗化學(xué)腐蝕性能。該過濾器能夠穩(wěn)定剔除氣流中所有直徑大于 0.3 微米的微小顆粒物，過濾效率通過了 ISO 規(guī)范認(rèn)證，確保了氣體經(jīng)過后的高度潔凈度。得益于全金屬焊接的堅(jiān)固工藝，WG2F02RR4 可以承受高達(dá) 400 攝氏度的高溫工況（針對惰性氣體環(huán)境），并且在 1/2 英寸的管道尺寸下?lián)碛谐錾哪蛪翰畋憩F(xiàn)（P1 端最大可達(dá) 1.7 MPa，P2 端最大可達(dá) 2.9 MPa），能完美勝任各種高溫、高壓的半導(dǎo)體工藝制程，如化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等。

?

在行業(yè)適用性與系統(tǒng)集成方面，該型號配備了 1/2 英寸的標(biāo)準(zhǔn)墊片密封接頭（兼容業(yè)內(nèi)通用的 VCR 金屬密封接頭規(guī)格），采用公頭對公頭（Male to Male）的連接形式，總長度為精準(zhǔn)的 133.4 毫米。這種極具通用性的物理結(jié)構(gòu)使其在設(shè)備組裝和現(xiàn)場升級時(shí)極為便捷，能夠完美適配各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的氣體控制面板（Gas Box）以及物料輸送管路。在實(shí)際工業(yè)部署中，除了單獨(dú)使用該型號外，企業(yè)用戶往往會根據(jù)氣路管徑、流量需求及不同的安裝位，搭配同系列的 WG2F02RR2（1/4 英寸 VCR 規(guī)格）或 WG2F32PS1（3/8 英寸卡套規(guī)格）等型號一同構(gòu)建完整的多級氣體純化整體解決方案，從而在源頭上杜絕因顆粒物污染導(dǎo)致的晶圓良率下降問題。?

?

WG2F02RR2
WG2F32PS1
WGMXMPRR4
WGMXMPSS3
WGMXMPSV3
WGLMMPRR4
WGLMMPSS4
WGLMMPSV4
WGMINIPR1
WGMINIPS1
WGMINIRR1
WGMINIRS1
WG2F02PS1
WG2F02RS1
WG2F32RR1
WGLF01RR1
WGLF01SS1
WGLF02RR1
WGLF02SS1
WGLF02VV1
WGMF01RR1
WGMF01SS1
WGMF02RR1
WGMF02SS1
WGWF01RR1
WGWF01SS1
WGWF02RR1
WGWF02SS1
WGWF32RR1
WGWF32SS1
WGWF52RR1
WGWF52SS1
WGSTMPRR4
WGSTMPSS4
WGPF01RR1
WGPF01SS1
WGPF02RR1
WGPF02SS1
WGPF32RR1
WGPF32SS1
WGPF52RR1
WGPF52SS1
WGUPF1RR1
WGUPF1SS1
WGUPF2RR1
WGUPF2SS1
WGUPF3RR1
WGUPF3SS1
WGNF01RR1
WGNF01SS1
WGNF02RR1
WGNF02SS1
WGNF32RR1
WGNF32SS1
WGNF52RR1
WGNF52SS1
WGBF01RR1
WGBF01SS1
WGBF02RR1
WGBF02SS1
WGBF32RR1
WGBF32SS1
WGBF52RR1
WGBF52SS1
WGCF01RR1
WGCF01SS1
WGCF02RR1
WGCF02SS1
WGCF32RR1
WGCF32SS1
WGCF52RR1
WGCF52SS1
WGDF01RR1
WGDF01SS1
WGDF02RR1
WGDF02SS1
WGDF32RR1
WGDF32SS1
WGDF52RR1
WGDF52SS1
WGEF01RR1
WGEF01SS1
WGEF02RR1
WGEF02SS1
WGEF32RR1
WGEF32SS1
WGEF52RR1
WGEF52SS1
WGFF01RR1
WGFF01SS1
WGFF02RR1
WGFF02SS1
WGFF32RR1
WGFF32SS1
WGFF52RR1
WGFF52SS1
WGHF01RR1
WGHF01SS1
WGHF02RR1
WGHF02SS1
WGHF32RR1
WGHF32SS1
WGHF52RR1
WGHF52SS1
WGJF01RR1
WGJF01SS1
WGJF02RR1
WGJF02SS1
WGJF32RR1
WGJF32SS1
WGJF52RR1
WGJF52SS1
WGKF01RR1
WGKF01SS1
WGKF02RR1
WGKF02SS1
WGKF32RR1
WGKF32SS1
WGKF52RR1
WGKF52SS1
WGLF32RR1
WGLF32SS1
WGLF52RR1
WGLF52SS1
WGMF32RR1
WGMF32SS1
WGMF52RR1
WGMF52SS1
WGNF12RR1
WGNF12SS1
WGPF12RR1
WGPF12SS1
WGRF01RR1
WGRF01SS1
WGRF02RR1
WGRF02SS1
WGRF32RR1
WGRF32SS1
WGRF52RR1
WGRF52SS1
WGSF01RR1
WGSF01SS1
WGSF02RR1
WGSF02SS1
WGSF32RR1
WGSF32SS1
WGSF52RR1
WGSF52SS1
WGTF01RR1
WGTF01SS1
WGTF02RR1
WGTF02SS1
WGTF32RR1
WGTF32SS1
WGTF52RR1
WGTF52SS1
WGVF01RR1
WGVF01SS1
WGVF02RR1
WGVF02SS1
WGVF32RR1
WGVF32SS1
WGVF52RR1
WGVF52SS1
WGXF01RR1
WGXF01SS1
WGXF02RR1
WGXF02SS1
WGXF32RR1
WGXF32SS1
WGXF52RR1
WGXF52SS1
WGYF01RR1
WGYF01SS1
WGYF02RR1
WGYF02SS1
WGYF32RR1
WGYF32SS1
WGYF52RR1
WGYF52SS1
WGZF01RR1
WGZF01SS1
WGZF02RR1
WGZF02SS1
WGZF32RR1
WGZF32SS1
WGZF52RR1
WGZF52SS1
CE2004VCR4
CE3004VCR4
CE4004VCR4
CE5004VCR4

?

?