• 品牌：Entegris (美國英特格)
• 系列：Wafergard III Bulk In-line Metal Gas Filters (大批量在線金屬氣體過濾器)
• 型號：SI2N0100B
• 接頭配置：對焊接口 (Butt weld)
• 接口尺寸 (D1)：25.4 mm (1.0")
• 外徑尺寸 (D2)：101.6 mm (4.0")
• 產(chǎn)品總長 (L1)：267 mm (10.5")
• 接頭長度 (L2)：57.2 mm (2.3")
• 濾膜材質(zhì)：專利燒結(jié)鎳膜 (Sintered nickel membrane)
• 過濾精度：≥ 0.0015 μm (超潔凈顆粒攔截技術(shù))
• 工作壓力：最大允許工作壓力達(dá) 207 bar (3000 psi) @ 100°C
• 防護(hù)與耐溫：適應(yīng)各類半導(dǎo)體特種工藝氣體及高溫、動態(tài)壓力環(huán)境
• 表面粗糙度：≤ 5 μin Ra (電拋光內(nèi)壁避免顆粒滯留)
• 氦質(zhì)譜檢漏率：測試值達(dá) 1x10^-9 atm cc/sec
• 產(chǎn)品凈重：5.2 kg (因全金屬厚壁耐高壓腔體設(shè)計)
• 包裝重量：6.1 kg

美國Entegris（英特格）作為全球微電子行業(yè)污染控制與材料純化領(lǐng)域的行業(yè)先驅(qū)，其推出的Wafergard? III大批量在線全金屬氣體過濾器系列在業(yè)內(nèi)享有盛譽(yù)。本款型號為SI2N0100B（對焊接口，1.0英寸管徑）的高流量金屬氣體過濾器，是專門為滿足半導(dǎo)體芯片制造廠、光伏面板生產(chǎn)線以及大宗特氣輸送系統(tǒng)（BSGS）而研發(fā)的核心控污設(shè)備。在精密電子制造中，大宗工藝氣體在輸送至廠區(qū)各個工藝機(jī)臺（Point of Delivery）的過程中，管道摩擦或閥門切換會不可避免地產(chǎn)生微小顆粒物。SI2N0100B采用100%全金屬一體化焊接結(jié)構(gòu)，從根本上杜絕了傳統(tǒng)特氟龍或聚合物濾芯在高壓沖刷下可能發(fā)生的介質(zhì)脫落與自身釋氣問題，為工藝制程提供穩(wěn)定、純凈的無顆粒氣體保障。

該過濾器的核心性能源自Entegris專利擁有的燒結(jié)鎳膜技術(shù)（Sintered Nickel Membrane）。這種先進(jìn)的金屬拉伸及高溫?zé)Y(jié)工藝，賦予了內(nèi)部濾芯極其均勻的孔徑分布以及極高的孔隙率。其卓越的過濾精度達(dá)到了驚人的0.0015微米（μm），對于超純氣體管線中更小尺度的揮發(fā)性微粒、金屬碎屑能夠做到極其徹底的攔截，顆粒流失率低于0.03個/升，清除效率處于全球微污染控制技術(shù)的前沿。此外，燒結(jié)鎳材質(zhì)本身具備極為優(yōu)異的抗腐蝕能力，對于半導(dǎo)體行業(yè)常見的強(qiáng)腐蝕性、高活性工藝氣體（如高純氯氣、氟化氫等酸性特氣）表現(xiàn)出高規(guī)格的化學(xué)惰性。同時，這種全金屬基材非常適合在需要高溫烘烤的管線環(huán)境，或者經(jīng)受瞬時動態(tài)高壓沖擊的特殊氣柜系統(tǒng)中穩(wěn)定工作，擁有更長的服役壽命與低免維護(hù)成本。