品牌：美國 Entegris（英特格）
型號：GPUS2500FIX04R02CA
品類：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高純特種氣體凈化器
提純介質(zhì)：惰性氣體（Inert Gases，如氬氣 Ar、氦氣 He、氮氣 N2、氪氣 Kr、氖氣 Ne、氙氣 Xe 等）
出口純度：可將雜質(zhì)（H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十億分之一)
最大工作壓力：約 19.8 MPa (2875 psi)
最大額定流量：2500 slpm（標準升/分鐘）
連接接口尺寸：1/2英寸（標準配置多采用大流量高純VCR面密封接口）
外殼材質(zhì)：316L不銹鋼（內(nèi)壁經(jīng)超精細電解拋光EP處理）
過濾精度：內(nèi)置高效率金屬纖維過濾器，微粒去除能力達 0.003微米
工作溫度范圍：0℃ 至 60℃
產(chǎn)品重量：約 12.50 kg
主要應用：半導體廠務大流量供氣系統(tǒng)、晶圓廠主干氣路分支、大型MOCVD及外延生產(chǎn)車間
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美國Entegris（英特格）開發(fā)的Gatekeeper GPU系列特種氣體凈化器（具體型號：GPUS2500FIX04R02CA），是專為半導體制造廠務端（Hook-up系統(tǒng)）及大流量氣體主干管路設計的超高純度提純組件。在現(xiàn)代大規(guī)模集成電路、超高密度3D NAND閃存以及先進邏輯芯片的生產(chǎn)線中，高純度的流體供應是維持工藝長期穩(wěn)定的基礎。氣體中如果存在十億分之一級別（ppb級）的微量水分、氧氣等非故意雜質(zhì)，就會引發(fā)薄膜缺陷、改變摻雜濃度，導致晶圓成批報廢。本款純化設備具備高達2500 slpm的宏大通流能力，通常部署在動力車間、減壓閥組后端的中央供氣網(wǎng)絡中，為整條生產(chǎn)線的多個工藝機臺同時提供在線深度凈化服務。
從核心材料與結(jié)構(gòu)設計來看，GPUS2500FIX04R02CA的閥體外殼與內(nèi)部耐高壓腔體完全精選超低碳的316L不銹鋼材質(zhì)制造。為了確保在高流速沖刷下材料自身不釋放任何微顆粒或解析出有害金屬離子，該產(chǎn)品的全部流道內(nèi)壁均經(jīng)過了極其嚴苛的EP（電解拋光）微量級表面處理。其內(nèi)部填充了英特格自主研發(fā)的大容量高活性無機金屬催化填料與復合吸附劑。該制劑能夠在常溫工況下自發(fā)與惰性氣體（如氬氣、氮氣、氦氣等）中所夾帶的微量水分（H2O）、氧氣（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氫氣（H2）以及揮發(fā)性碳氫化合物（NMHC）發(fā)生高選擇性化學反應和物理吸附。提純后的氣體出口純度能夠穩(wěn)定維持在 99.9999999% 以上，將關鍵氣態(tài)雜質(zhì)濃度降至 1 ppb 以下。純化段后端集成了高強度的不銹鋼多孔金屬纖維過濾模塊，對尺寸大于 0.003 微米（3納米）的機械磨損粉塵和懸浮微粒提供高效率的攔截。
在自動化控制與工業(yè)應用現(xiàn)場，2500 slpm的額定大流量表現(xiàn)使其能夠輕松充當工廠主氣路（Gas Pad）的中心過濾核心，滿足大型化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）以及擴散爐群組的集中連續(xù)用氣。該純化器利用了材料自身的常溫催化反應機理，無須任何外部電加熱套或復雜的溫度控制系統(tǒng)，從而從根本上消除了因為突發(fā)斷電、加熱絲燒斷或溫控儀漂移導致的氣體質(zhì)量劣化，為工業(yè)生產(chǎn)提供本質(zhì)安全的保護。殼體設計堅固，最大工作壓力可承受 19.8 MPa。由于內(nèi)部填料量極大，整體設備重量在 12.50 kg 左右。為了適應半導體潔凈廠房對系統(tǒng)氣密性的硬性指標，其進出口連接端標配高純面密封VCR接頭，實現(xiàn)零泄漏的高真空運行保障。
為了全面適應車間內(nèi)部從大流量廠務主管線、車間分配閥箱（VMB）到特定精密工藝單機終端的階梯式流量過濾要求，建議配套參考選用Entegris Gatekeeper系列的其他互補規(guī)格產(chǎn)品。例如，在氣路最末端的反應腔進氣口處，可以交叉配置GPUS35F、GPUS60F、GPUS100F或者中等流量的GPUS500F等輕量化氣體純化器進行本地次級強化保護。不同處理能力的提純裝置前后搭配，共同構(gòu)建起從中央特氣柜直至晶圓反應表面之間堅固的超高純特種氣體純化鏈條。
GPUS35FIX04R02CA
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