品牌：美國(guó) Entegris（英特格）
型號(hào)：GPUS500FIX04R02CA
品類：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高純特種氣體凈化器
提純介質(zhì)：惰性氣體（Inert Gases，如氬氣 Ar、氦氣 He、氮?dú)?N2、氪氣 Kr、氖氣 Ne、氙氣 Xe 等）
出口純度：可將雜質(zhì)（H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十億分之一)
最大工作壓力：約 19.8 MPa (2875 psi)
最大額定流量：500 slpm（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）
連接接口尺寸：1/4英寸（根據(jù)出廠管路配置，標(biāo)準(zhǔn)為高純VCR面密封接口）
外殼材質(zhì)：316L不銹鋼（內(nèi)壁經(jīng)超精細(xì)電解拋光EP處理）
過(guò)濾精度：內(nèi)置高效率金屬纖維過(guò)濾器，微粒去除能力達(dá) 0.003微米
工作溫度范圍：0℃ 至 60℃
產(chǎn)品重量：約 4.15 kg
主要應(yīng)用：半導(dǎo)體集成電路外延生長(zhǎng)、晶圓代工薄膜沉積、MOCVD工藝、面板及顯像管制造氣體純化系統(tǒng)

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美國(guó)Entegris（英特格）推出的Gatekeeper GPU系列超高純特種氣體凈化器（具體型號(hào)：GPUS500FIX04R02CA），是專門針對(duì)半導(dǎo)體芯片制造、高端微電子、光伏太陽(yáng)能電池板以及LED外延工藝流體管路設(shè)計(jì)的大流量終端提純組件。在現(xiàn)代亞微米級(jí)以及納米級(jí)晶圓制造流程中，工藝氣體的潔凈度與純度直接決定了電子元器件的成品率。氣體中哪怕僅含有十億分之一級(jí)別（ppb級(jí)）的微量水分、氧氣、一氧化碳等雜質(zhì)，也極易在硅片表面引發(fā)非故意氧化、薄膜晶格缺陷或嚴(yán)重的金屬離子沾污。本款氣態(tài)惰性介質(zhì)純化設(shè)備部署在氣體分配盤(pán)、機(jī)柜或者真空腔體前端的氣路中，能穩(wěn)定輸出超高純氣體，從而為精密半導(dǎo)體加工提供基礎(chǔ)的安全流體保障。

從材料選擇與核心技術(shù)參數(shù)來(lái)看，GPUS500FIX04R02CA凈化器的整體外殼和內(nèi)部連接金屬管路全部精選高規(guī)格的超低碳316L不銹鋼材料。為了避免不銹鋼基底自身對(duì)工藝氣體的二次吸附、解析或者析出微小金屬雜質(zhì)，該產(chǎn)品的內(nèi)流道結(jié)構(gòu)全部經(jīng)過(guò)了極其嚴(yán)苛的EP（電解拋光）表面工藝處理。這大幅削減了內(nèi)壁的真實(shí)物理粗糙度，有效防止了流體死區(qū)的形成與灰塵的積聚。其內(nèi)部填充了專門配比研發(fā)的高活性無(wú)機(jī)金屬氧化物及物理吸附劑復(fù)合材料填料，能夠在不依賴任何外部加熱或電力供應(yīng)的前提下，常溫在線清除惰性氣體介質(zhì)中微量的水（H2O）、氧（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氫氣（H2）以及各類非甲烷碳?xì)浠衔铮∟MHC）。其出口純度最高能夠達(dá)到 99.9999999% 的水準(zhǔn)，使有害微量雜質(zhì)的殘留濃度控制在 1 ppb 以下。同時(shí)，該純化器殼體后端集成了高效率的微孔金屬多孔纖維過(guò)濾單元，對(duì)尺寸大于 0.003 微米（即 3 納米）的固態(tài)微粒、管道磨損顆粒物具有極高的絕對(duì)攔截濾除效率。

在系統(tǒng)集成與行業(yè)工程實(shí)踐中，500 slpm的額定氣體工作流量，使本產(chǎn)品能夠廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓廠中集中供氣的管路主干分支，或者是需要多機(jī)臺(tái)并聯(lián)的大容量外延生長(zhǎng)爐和PECVD設(shè)備供氣終端。該型號(hào)采用常溫自發(fā)催化與物理吸附的設(shè)計(jì)機(jī)制，杜絕了由于工廠意外斷電、跳閘或溫控器故障而導(dǎo)致的氣體純度中斷或惡化現(xiàn)象。該產(chǎn)品的承壓殼體物理結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，最大可承受高達(dá) 19.8 MPa 的流體工作壓力，能夠安全適配高壓氣瓶柜組的直接減壓輸出。整體設(shè)備重量控制在 4.15 kg 左右，布局相當(dāng)緊湊。為了適應(yīng)半導(dǎo)體廠務(wù)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范，其流體輸入與輸出端均標(biāo)配1/4英寸的高純VCR金屬面密封接頭，確保整個(gè)管路系統(tǒng)達(dá)到零泄漏的高真空漏率標(biāo)準(zhǔn)。

為了全面滿足廠區(qū)內(nèi)不同流體種類、不同反應(yīng)階段以及各條工藝分支管路的精細(xì)化流量匹配需求，建議配合參考同屬于Entegris Gatekeeper家族的其它規(guī)格凈化組件。如果需要更小流量的本地化單機(jī)臺(tái)或?qū)嶒?yàn)室終端保護(hù)，可以選用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、輕量化設(shè)計(jì)的過(guò)濾器組合；而對(duì)于需要更廣通流能力的氣體主干線純化，則可以考慮在動(dòng)力廠房部署GPUS700F、GPUS1000F或者GPUS2500F系列的大規(guī)模氣路純化設(shè)備。這些各具工藝側(cè)重點(diǎn)的純化模塊相互銜接，共同構(gòu)筑起從源頭儲(chǔ)氣罐直至精密反應(yīng)機(jī)臺(tái)晶圓表面之間的超高純工藝氣體安全防護(hù)鏈條。

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