品牌：美國(guó) Entegris（英特格）
型號(hào)：GPUS700FYX04R02CA
品類：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高純特種氣體凈化器
提純介質(zhì)：氨氣（NH3）/ 惰性氣體/ 特種電子氣體（具體視填料配置而定，標(biāo)配多用于超高純特氣提純）
出口純度：可將雜質(zhì)（H2O, O2, CO, CO2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十億分之一)
最大工作壓力：約 19.8 MPa (2875 psi)
最大額定流量：700 slpm（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）
連接接口尺寸：1/4英寸 或 1/2英寸（根據(jù)出廠管路配置，標(biāo)準(zhǔn)為高純VCR面密封接口）
外殼材質(zhì)：316L不銹鋼（內(nèi)壁經(jīng)超精細(xì)電解拋光EP處理）
過濾精度：內(nèi)置高效率金屬纖維過濾器，微粒去除能力達(dá) 0.003微米
工作溫度范圍：0℃ 至 60℃
產(chǎn)品重量：約 4.85 kg
主要應(yīng)用：半導(dǎo)體MOCVD、PECVD、外延生長(zhǎng)（Epitaxy）、LED及光伏面板制造等超高純氣路終端
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美國(guó)Entegris（英特格）生產(chǎn)的Gatekeeper GPU系列氣體凈化器（具體型號(hào)：GPUS700FYX04R02CA）是專門應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子加工、光伏太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)以及LED芯片外延生長(zhǎng)等高尖端行業(yè)的氣體超純化控制組件。在現(xiàn)代集成電路制造工藝中，即使是十億分之一（ppb級(jí)別）的氣體雜質(zhì)，也會(huì)直接導(dǎo)致晶圓氧化缺陷、線寬異常以及最終良率的大幅下滑。本款凈化器作為氣路系統(tǒng)的終端守護(hù)屏障，部署于氣瓶柜（BSGS/GC）、氣體分配閥門箱（VMB）與工藝反應(yīng)腔室（Tool）之間，能夠以高達(dá)700 slpm的大流量，對(duì)輸送的特種工藝氣體進(jìn)行在線實(shí)時(shí)深度提純。
從核心性能與工藝參數(shù)來看，GPUS700FYX04R02CA的閥體外殼以及內(nèi)部流道完全采用超低碳的316L不銹鋼制造。為了防止材料自身析出微量元素或吸附氣體組分，其內(nèi)部流道表面經(jīng)過了極度苛刻的EP（電解拋光）工藝加工。這使得表面粗糙度降到微米級(jí)以下，有效杜絕了顆粒物的附著和金屬離子的二次污染。其內(nèi)部填充了專門研發(fā)的高活性無(wú)機(jī)基質(zhì)催化劑與吸附劑填料，能夠在常溫、高壓的工況下，高效清除特種氣體中夾帶的微量水分（H2O）、氧氣（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）以及非甲烷烴（NMHC）等雜質(zhì)。經(jīng)過凈化后，氣體的輸出純度可以穩(wěn)定達(dá)到 99.9999999% 以上，即雜質(zhì)殘留量小于 1 ppb。同時(shí)，該產(chǎn)品在純化段后端集成了高效率的金屬多孔纖維過濾核心，對(duì) 0.003 微米（3納米）以上的微小顆粒具有極高的攔截去除率，確保輸送到反應(yīng)腔的氣體保持高潔凈度。
在行業(yè)實(shí)際部署中，700 slpm的額定流量設(shè)計(jì)使其能夠輕松應(yīng)對(duì)多工藝反應(yīng)臺(tái)并發(fā)用氣、或者大產(chǎn)能外延爐、MOCVD設(shè)備的集中供氣需求。由于其采用了特殊的無(wú)源純化機(jī)制，整個(gè)提純過程無(wú)需外部加熱或消耗電能，不僅降低了廠房配電成本，更規(guī)避了因斷電導(dǎo)致的氣體純度波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)，在系統(tǒng)安全性和連續(xù)運(yùn)行保障上表現(xiàn)出色。其高密封性能和堅(jiān)固的外殼構(gòu)造，可以安全承載高達(dá) 19.8 MPa 的工作壓力。整體重量控制在 4.85 kg 左右，外形結(jié)構(gòu)緊湊，非常便于垂直或水平集成到半導(dǎo)體廠務(wù)的氣體控制機(jī)柜中。為了實(shí)現(xiàn)氣路的快速對(duì)接并保持密封零泄漏，接口標(biāo)準(zhǔn)完全匹配半導(dǎo)體通用的VCR高純面密封接頭。
為了更好地配合車間內(nèi)不同用氣點(diǎn)、不同流量以及不同工藝氣體的需求，推薦參考選用同屬于Entegris Gatekeeper系列的其他規(guī)格產(chǎn)品。例如，針對(duì)小流量實(shí)驗(yàn)室用氣環(huán)境或單臺(tái)工藝機(jī)臺(tái)終端，可配合選用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、輕量化型號(hào)；而針對(duì)氣體主母管路的大流量純化，則可以考慮部署GPUS2500F或更高層級(jí)的凈化器系統(tǒng)。不同型號(hào)相互組合，共同構(gòu)建起從氣源源頭到芯片制造核心反應(yīng)區(qū)的超高純氣路防護(hù)網(wǎng)絡(luò)。
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