品牌:Parker Hannifin (派克漢尼汾)
系列:VacuSeal? (超高純面密封接頭)
完整型號(hào):4-GVGR-SSLP
連接尺寸:1/4 英寸
配置類型:帶固持槽型 (Retained Grooved Style)
主體材質(zhì):316/316L 不銹鋼
涂層說明:SSLP (Less Silver Plating / Unplated)
泄漏率:經(jīng)氦質(zhì)譜檢漏,優(yōu)于?
?atm.cc/sec
工作溫度:最高可達(dá)?
壓力額定值:最高可達(dá) 9000 psi (約 620 bar)
重量信息:單件約為 0.005 - 0.01 kg (具體視包裝件數(shù)而定)
?
在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)及高純氣體輸送系統(tǒng)中,系統(tǒng)的完整性與潔凈度是決定工藝良率的關(guān)鍵因素。Parker Hannifin(派克漢尼汾)推出的 VacuSeal 系列面密封接頭及配件,正是針對這些嚴(yán)苛環(huán)境而設(shè)計(jì)的行業(yè)標(biāo)桿產(chǎn)品。型號(hào)為 4-GVGR-SSLP 的金屬墊片是該系列中極具代表性的核心組件,專為 1/4 英寸 VCR 類型的接口提供可靠的超高純密封保障。
核心性能與技術(shù)優(yōu)勢:
該墊片展現(xiàn)了極高的氣密性。4-GVGR-SSLP 墊片采用獨(dú)特的交配環(huán)面設(shè)計(jì)。當(dāng)接頭螺母旋緊時(shí),墊片在兩個(gè)微精加工的環(huán)面(Toroid)之間發(fā)生塑性變形,形成金屬對金屬的強(qiáng)制密封。所有 VacuSeal 產(chǎn)品均經(jīng)過嚴(yán)格的氦質(zhì)譜測試,泄漏率控制在極低水平,能夠有效防止大氣雜質(zhì)滲入系統(tǒng)或高危氣體外泄。
材料與潔凈度方面:
該墊片由優(yōu)質(zhì) 316L 不銹鋼制成,具有優(yōu)異的耐腐蝕性和材料穩(wěn)定性。后綴 SSLP 表示該型號(hào)為非鍍銀或減薄鍍層設(shè)計(jì)。在某些對銀離子敏感或特定的半導(dǎo)體工藝中,這種配置能顯著減少金屬顆粒產(chǎn)生,確保流道的絕對潔凈,避免工藝污染。
穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):
作為帶固持槽型墊片,它設(shè)計(jì)有專門的固持機(jī)構(gòu),能夠牢固地卡在接頭內(nèi),極大地方便了垂直安裝或狹窄空間內(nèi)的組裝操作,避免了墊片滑脫導(dǎo)致的密封面受損,提高了現(xiàn)場作業(yè)的效率與安全性。
行業(yè)應(yīng)用及推薦:
在真空技術(shù)和高壓氣體分布系統(tǒng)中,4-GVGR-SSLP 展現(xiàn)了極強(qiáng)的適應(yīng)性。它能夠承受高壓沖擊,并能在極端溫度下保持密封效能。這使得它廣泛應(yīng)用于晶圓加工設(shè)備的化學(xué)氣相沉積(CVD)、擴(kuò)散爐及氣體箱(Gas Box)集成中。為了進(jìn)一步提升系統(tǒng)可靠性,建議配套使用派克的 4-6V-SS 壓蓋或 4-VN-SS 螺母,以確保均勻的扭矩傳遞,構(gòu)建完整的無泄漏流體控制鏈路。
4-GVGR-SS
4-GVGR-NI
4-GVGR-CU
4-GVGR-SSLP
4-GV-SS
4-GV-NI
4-GV-CU
8-GVGR-SS
8-GVGR-NI
8-GVGR-CU
2-GVGR-SS
2-GVGR-NI
2-GVGR-CU
12-GVGR-SS
16-GVGR-SS
4-VGR-SS
4-VGR-NI
4-VGR-CU
8-VGR-SS
8-VGR-NI
2-VGR-SS
2-VGR-NI
4-V-SS
4-V-NI
4-V-CU
8-V-SS
8-V-NI
2-V-SS
12-V-SS
16-V-SS
4-GVGR-SS-EP
4-GVGR-NI-EP
8-GVGR-SS-EP
4-VGR-SS-EP
4-6V-SS
4-6V-SS-L
4-6V-SS-2
4-6V-SS-3
4-6V-SS-0.5
8-12V-SS
8-12V-SS-L
2-2V-SS
16-16V-SS
4-VN-SS
8-VN-SS
2-VN-SS
12-VN-SS
16-VN-SS
4-MN-SS
8-MN-SS
2-MN-SS
4-V-SS-EP
8-V-SS-EP
2-V-SS-EP
4-G-SS
8-G-SS
2-G-SS
12-G-SS
4-P-SS
8-P-SS
2-P-SS
4-G-SS-L
8-G-SS-L
4-6V-SS-BW
8-12V-SS-BW
4-VN-SS-S
8-VN-SS-S
4-4-VHOA-SS
8-8-VHOA-SS
4-4-VLOA-SS
8-8-VLOA-SS
4-4-V6OA-SS
4-V1-SS
8-V1-SS
4-V2-SS
8-V2-SS
4-V3-SS
8-V3-SS
4-V4-SS
4-V5-SS
4-V7-SS
4-V8-SS
4-V9-SS
4-V10-SS
4-V11-SS
4-V12-SS
4-V13-SS
4-V14-SS
4-V15-SS
4-V16-SS
4-V17-SS
4-V18-SS
4-V19-SS
4-V20-SS
4-V21-SS
4-V22-SS
4-V23-SS
4-V24-SS
4-V25-SS
4-V26-SS
4-V27-SS
4-V28-SS
4-V29-SS
4-V30-SS
4-V31-SS
4-V32-SS
4-V33-SS
4-V34-SS
4-V35-SS
4-V36-SS
4-V37-SS
4-V38-SS
4-V39-SS
4-V40-SS
4-V41-SS
4-V42-SS
4-V43-SS
4-V44-SS
4-V45-SS
4-V46-SS
4-V47-SS
4-V48-SS
4-V49-SS
4-V50-SS
4-V51-SS
4-V52-SS
4-V53-SS
4-V54-SS
4-V55-SS
4-V56-SS
4-V57-SS
4-V58-SS
4-V59-SS
4-V60-SS
4-V61-SS
4-V62-SS
4-V63-SS
4-V64-SS
4-V65-SS
4-V66-SS
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4-V68-SS
4-V69-SS
4-V70-SS
4-V71-SS
4-V72-SS
4-V73-SS
4-V74-SS
4-V75-SS
4-V76-SS
4-V77-SS
4-V78-SS
4-V79-SS
4-V80-SS
4-V81-SS
4-V82-SS
4-V83-SS
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4-V86-SS
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4-V88-SS
4-V89-SS
4-V90-SS
4-V91-SS
4-V92-SS
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4-V94-SS
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4-V100-SS
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4-V103-SS
4-V104-SS
4-V105-SS
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4-V110-SS
4-V111-SS
4-V112-SS
4-V113-SS
4-V114-SS
4-V115-SS
4-V116-SS
4-V117-SS
4-V118-SS
4-V119-SS
4-V120-SS
4-V121-SS
4-V122-SS
4-V123-SS
4-V124-SS
4-V125-SS
4-V126-SS
4-V127-SS
4-V128-SS
4-V129-SS
4-V130-SS
4-V131-SS
4-V132-SS
4-V133-SS
4-V134-SS
4-V135-SS