英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器價格、報價-遠為國際貿易（無錫）有限公司

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英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器
英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器

英特格ENTEGRIS，WG2F40RR3，Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器

?這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和柜中。?

PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
應用領域
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
煤氣柜和面板
超純氣體系統
內部處理工具
產品規格
材料
? 濾芯
? 由模制 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 μm?
揮發物 <10 ppb 水分
去除等級 ≥0.0015微米
內部表面處理 ≤7 μin Ra
氦氣泄漏等級合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已測試 1×10 -9立方厘米/秒
使用條件最大入口壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
?
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
?
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
? 在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準）
流量等級參考性能數據
零件編號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器零件號
零件編號配件尺寸和類型長度應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸）半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 88.9 毫米（3.50 英寸）半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸）半導體